系統(tǒng)誤差是指在一定試驗(yàn)條件下由某個(gè)或某些因素按照某一確定的規(guī)律起作用而形成的誤差。它決定了測試結(jié)果的度，系統(tǒng)誤差的大小和符號在同一試驗(yàn)中是恒定的，改變試驗(yàn)條件時(shí)按照確定的規(guī)律變化。重復(fù)測定不能發(fā)現(xiàn)和減少系統(tǒng)誤差，只有改變試驗(yàn)條件才能發(fā)現(xiàn)系統(tǒng)誤差。測定結(jié)果與真實(shí)值偏離的程度越小，測定結(jié)果越正確，系統(tǒng)誤差就越小。一旦發(fā)現(xiàn)有系統(tǒng)誤差，一定要找出原因，設(shè)法避免和校正。

 

　　隨機(jī)誤差是具有隨機(jī)性的誤差，出現(xiàn)這種現(xiàn)象是一系列偶然因素（如測定環(huán)境的溫度、濕度、振動(dòng)、灰塵、油污、老化和儀器性能等）微小隨機(jī)波動(dòng)造成的。如果對樣品只進(jìn)行一次測定，其測定值可能比真值大也可能比真值小。它的出現(xiàn)決定了測定結(jié)果的精密度。隨機(jī)誤差是一種無規(guī)律性的誤差，在分析過程中總是存在的。其性質(zhì)是有時(shí)大，有時(shí)小，有時(shí)正，有時(shí)負(fù)，而產(chǎn)生的原因又無法控制。所以只有通過多次測量并取平均值，才可以減小隨機(jī)誤差。

 

　　等離子體光譜儀是原子光譜的一種，有關(guān)原子光譜的種類參見第1章節(jié)有關(guān)內(nèi)容。等離子體光譜儀是處于激發(fā)態(tài)的待測元素原子回到基態(tài)時(shí)發(fā)射的譜線等離子體光譜法包括2個(gè)主要的過程，即：激發(fā)過程和發(fā)射過程。

 

　　(1)激發(fā)過程由光源提供能量使樣品蒸發(fā)、形成氣態(tài)原子、并進(jìn)一步使氣態(tài)原子激發(fā)至高能態(tài)。原子發(fā)射光譜中常用的光源有火焰、電弧、等離子炬等，其作用是使待測物質(zhì)轉(zhuǎn)化為氣態(tài)原子，氣態(tài)原子的外層電子激發(fā)過程獲得能量，變?yōu)榧ぐl(fā)態(tài)(高能態(tài))原子。

 

　　(2)發(fā)射過程處于激發(fā)態(tài)(高能態(tài))的原子十分不穩(wěn)定，在很短時(shí)間內(nèi)回到基態(tài)(低能態(tài))。當(dāng)從激發(fā)態(tài)過渡到低能態(tài)或基態(tài)時(shí)產(chǎn)生特征發(fā)射光譜即為原子發(fā)射光譜。一由于發(fā)射光譜與光源連續(xù)光譜混合在一起，且原子發(fā)射光譜本身也十分豐富，必須將光源發(fā)出的復(fù)合光經(jīng)單色器分解成按波長順序排列的譜線，形成可被檢測器檢測的光譜，儀器用檢測器檢測光譜中譜線的波長和強(qiáng)度。